제가 석사기간 동안 노광장비인 Aligner 담당자를 맡으면서 이 장비에 대해 여러 가지 알아보았는데요, 한번 정리해보고자 합니다. 저희 연구실은 SUSS MicroTec의 MA/BA6를 사용했습니다. - Aligner 구조와 작동방식 먼저 구조를 설명드리자면 크게 램프, 내부 optics, mask & stage로 나눌 수 있습니다. 내부 optics는 사용자가 건드릴 수 없고 건드려서도 안됩니다. 왜냐하면 램프에서 나오는 자외선을 stage 전체적으로 일정하게 비취도록 optics에서 조절을 해주거든요. 만약에 stage의 spot 마다 자외선의 intensity가 다르면 기판 위치마다 포토공정의 resolution이 달라지기 때문에 optics는 사용자가 조절하지 않습니다. 참고로 장비 관리자로서 ..

Data sheet를 작성하면 Timing diagram을 그려야 하는 경우가 있습니다. 처음에는 엑셀의 테두리 가능을 사용해서 Timing diagram을 그렸는데요, 위 그림과 같이 셀 구분선 때문에 사진 자료로 사용할 수 없습니다. 이럴 경우 엑셀의 옵션에서 구분선을 없앨 수 있습니다. - 엑셀 표 구분선(눈금선) 지우는 방법 먼저 엑셀 옵션에 들어가서 고급 탭을 선택하고 눈금선을 없앨 시트를 선택해서 눈금선 표시를 해제하면 됩니다. - Wavedrom 그런데 엑셀로 timing diagram을 그리면 너무 번거로운데요, wavedrom으로 편하게 그릴 수 있습니다. https://wavedrom.com/ WaveDrom - Digital timing diagram everywhere WaveDro..

진~~짜 오랜만에 업무 파트 글을 쓰는 것 같네요,,,,,, 입사한지 이제 반년이 되었고 지금쯤이면 많이 배웠어야 했는데,,,,, 아직도 모르는게 산더미입니다 ㅠㅠ. 저희 회사가 요즘 정신없이 바쁜데요, 인력이 많지 않음에도 불구하고 과제를 4개나 진행하고 있어서,,,, 저도 과제 1개의 FPGA 검증을 전담하고 있어서(물론 모르는거 많아서 선배의 도움 없이는 아무것도 못하지만) 정신이 없었네요;; OJT 끝나고 나서 했던 일은 회사 ip에 대한 data sheet를 작성하는 일이었습니다. Data sheet는 IP에 대한 세부적인 내용이 담겨있는 사용자 메뉴얼이라고 보시면 돼요. 기능, signal에 대한 설명이 있고 무엇보다 레지스터에 대한 설명이 있어서 매우매우 중요합니다. 어떤 IP을 작동시킬 때..

git push 전에는 원격 저장소에 영향을 주지 않는다. git add : 로컬 저장소의 stage에만 변경사항 올림git commit : git 버전(git log)에만 영향, 원격 저장소에는 올라가지 않음 - git add 취소git reset HEAD [파일명][파일명]이 없으면 stage에 올라간 모든 파일 취소 - git commit 취소git reset: 커밋 취소git revert: 커밋 내용 되돌리기 git commit –amend: 커밋 덮어쓰기(커밋 메세지 변경) 주로 사용하는 커맨드git reset HEAD^ : commit 취소하고 변경 파일들 unstage 상태로git reset --soft HEAD^ : commit 취소하고 변경 파일들 stage 상태로

- CVD, Chemical Vapor Deposition CVD는 고진공에서 증착을 진행하는 PVD와 달리 대기압이나 중진공(100~10-1Pa)에서 증착을 진행합니다. 챔버에 반응성 가스를 주입하면 기판에 붙고, 열과 플라즈마 등을 통해 에너지를 통해 화학반응을 일으켜 박막을 형성합니다. 반응성 가스가 챔버 내에서 기판 표면 위에 일정한 속도로 흐른다. 기판 표면에서 마찰로 인해 가스가 흐르는 속도가 0으로 줄어드는데 이를 정체층(boundary layer)이라고 한다. 정체층의 가스는 웨이퍼에 흡착되어 가스 농도가 낮아지고 농도가 높은 주변에서 가스가 계속 정체층으로 유입되어 기판 표면에 공급된다. 기판 표면의 화학반응으로 인해 박막이 증착되고 생성물은 챔버 밖으로 배출된다. CVD 공정의 장단점 ..

- PVD, Phisical Vapor Deposition PVD에는 다음과 같은 장점이 있습니다. 고진공 상태에서 화학반응 없이 증착하기 때문에 다양한 물질을 소스로 사용할 수 있음 기판 온도를 자유롭게 조절할 수 있음. 이외에도 진공도나 전압등의 조절 가능한 변수가 많음 고진공 환경에서 증착하기 때문에 particle 같은 오염이 적음 다만 CVD 대비 step coverage나 박막 균일도가 좋지 못하다는 단점이 있습니다. Evaporation Evaporation에는 크게 열을 이용하는 Thermal evapoator와 전자빔을 사용하는 e-beam evaporator가 있습니다. 고진공(~10-6 torr)분위기에서 진행되는 thermal evaporation 증착은 소스 물질이 열에 의해 기화..

박막공정이라고도 하는 증착공정은 웨이퍼 위에 얇고 균일한 박막(1um 이하 두께의 막)을 증착하는 과정으로, 크게 물리적 기상증착인 PVD(Phisical Vapor Deposition)와 화학기상증착인 CVD(Chemical Vapor Deposition)로 나뉩니다. PVD는 고진공 상태에서 증착하려는 물질 소스에 에너지를 가해 기화시켜 기판에 증착시키는 Evaporation 방법과 소스 타겟에 플라즈마 이온을 강하게 충돌시켜 소스 원자가 튀어나와 기판에 증착시키는 Sputtering 방법을 주로 사용합니다. CVD는 기체 상태의 소스 물질을 기판으로 이동시켜 박막에 증착하는 방법입니다. 주로 열과 플라즈마 등의 에너지를 가해 화학반응을 일으킵니다. PVD CVD 장점 저온, 안전한 공정 고진공 환경..

- 변경 사항 확인git status [경로]: 현재 깃 버전 대비 변경 사항 확인ex) git status . : 현재 경로의 변경 사항 확인 git diff [파일]: 어떻게 다른지 확인 git log: git commit 로그 확인 - 변경 사항 원격 저장소에 올리는 절차git pull 먼저 하고git add [파일 이름, 또는 경로]: 깃에 올리기 전에 변경사항들을 stage에 모아두기 git commit: stage에 모아둔 변경사항들로 버전 생성, 여기까지는 원격저장소에 영향을 주지 않는다. git log 상에서만 update. git push [remote] [branch]: commit한 버전을 원격 저장소로 업로드

- vim에서 쉽게 검색하는 방법리눅스에서 사용하는 메모장에서 단어를 검색하는 방법은 다음과 같다. / + 원하는 text 원하는 text 클릭하고 shift + 8 누르면 그 단어 검색 vim에서 입력하다가 ctrl + p 누르면 같은 파일 안에 있는 단어로 이을 수 있음

리눅스에서 파일을 압축하고 해제하는 방법은 다음과 같다. - tar 압축tar -cvf [파일명.tar] [폴더명] - tar 압축 해제tar -xvf [파일명.tar] - tar.gz 압축tar -zcvf [파일명.tar.gz] [폴더명] - tar.gz 압축 해제tar -zxvf [파일명.tar.gz] OptionDescription-c파일을 tar로 묶음-p파일 권한을 저장-v묶거나 파일을 풀 때 과정을 화면으로 출력-f파일 이름을 지정-C경로를 지정-xtar 압축을 풂-zgzip으로 압축하거나 해제함