Aligner에 대한 글은 이번으로 마무리하려고 하는데요, 장비 관리자로 일하면서 겪었던 이슈들에 대해 설명해 보겠습니다. - 램프 관리 1. intensity 변경 지난 글에서 저희 연구실에서는 350W 램프를 사용했고 CH mode를 사용할 시 사용자가 설정한 intensity를 맞추기 위해 적정 값보다 높은 power가 인가될 수 있다고 설명했습니다. 2023.08.21 - [etc./반도체 공정] - Aligner 이해 (2) 작동 모드 Aligner 이해 (2) 작동 모드 지난 글에서 Aligner의 구조와 작동방식에 대해 설명했습니다. 이 글을 읽으시기 전에 참고하시면 좋을 것 같네요. 2023.08.17 - [etc./반도체 공정] - Aligner 이해 (1) 구조와 작동방식 Aligner..

지난 글에서 Aligner의 구조와 작동방식에 대해 설명했습니다. 이 글을 읽으시기 전에 참고하시면 좋을 것 같네요. 2023.08.17 - [etc./반도체 공정] - Aligner 이해 (1) 구조와 작동방식 Aligner 이해 (1) 구조와 작동방식 제가 석사기간 동안 노광장비인 Aligner 담당자를 맡으면서 이 장비에 대해 여러 가지 알아보았는데요, 한번 정리해보고자 합니다. 저희 연구실은 SUSS MicroTec의 MA/BA6를 사용했습니다. - Aligner 구조 veriln-e.tistory.com 이번 글에서는 Aligner의 작동 모드에 대해 설명해 보겠습니다. 제가 사용했던 SUSS MicroTec의 MA/BA6는 Expose와 Contact에 여러 모드가 있었습니다. - Expose..

제가 석사기간 동안 노광장비인 Aligner 담당자를 맡으면서 이 장비에 대해 여러 가지 알아보았는데요, 한번 정리해보고자 합니다. 저희 연구실은 SUSS MicroTec의 MA/BA6를 사용했습니다. - Aligner 구조와 작동방식 먼저 구조를 설명드리자면 크게 램프, 내부 optics, mask & stage로 나눌 수 있습니다. 내부 optics는 사용자가 건드릴 수 없고 건드려서도 안됩니다. 왜냐하면 램프에서 나오는 자외선을 stage 전체적으로 일정하게 비취도록 optics에서 조절을 해주거든요. 만약에 stage의 spot 마다 자외선의 intensity가 다르면 기판 위치마다 포토공정의 resolution이 달라지기 때문에 optics는 사용자가 조절하지 않습니다. 참고로 장비 관리자로서 ..