지난 글에서 웨이퍼 제조부터 식각공정에 대해 대략적으로 살펴보았습니다. 이후에 이어지는 공정단계에 대해 소개해드릴게요. - 증착&이온주입 공정 포토공정과 식각공정으로 기판 위에 원하는 패턴을 만들었으면 증착을 통해 박막을 깔고 다시 패터닝을 하고 증착을 반복합니다. 그러면 다음과 같은 구조를 형성할 수 있게 되죠. 증착은 크게 PVD(Physical Vapor Deposition), CVD(Chemical Vapor Deposition) 두 가지 방법이 있습니다. - PVD는 기화나 sputtering 같이 물리적으로 입자화 시켜 웨이퍼 위에 흡착시켜 박막이 만들어지게 하는 방법으로 크게 Evaporation과 Sputter 방식이 있습니다. - CVD는 화학반응을 통해 증착하는 방법으로 기체상태인 물질..