원래는 증착(Deposition)에 대해 쓰려고 했는데 세정공정에 대한 글을 먼저 쓰기로 했습니다. 포토 - 식각(Etch) - 세정(Cleaning)은 '포에클'이라고 묶어서 부르는데요, 관련 부서는 지인짜 빡세다고 합니다. 제가 연구실에서 포토장비인 얼라이너 담당자 역할을 했었는데요, 쉽지 않긴 했습니다 ㅠㅠ Cleaning은 웨이퍼 표면의 파티클이나 유기오염물, 또는 금속불순물을 제거하는 과정입니다. 이를 통해 칩 불량을 줄이기 때문에 굉장히 중요한 공정이라고 할 수 있습니다. - 습식세정 대부분의 습식세정은 1970년대에 소개된 RCA 세정을 기본으로 하고 있습니다. 이는 과산화수소 용액을 기본으로 하고 있는데요, SC-1 방법과 SC-2 방법이 있습니다. 염기성 용액을 사용하는 SC-1 세정은 ..