Aligner에 대한 글은 이번으로 마무리하려고 하는데요, 장비 관리자로 일하면서 겪었던 이슈들에 대해 설명해 보겠습니다. - 램프 관리 1. intensity 변경 지난 글에서 저희 연구실에서는 350W 램프를 사용했고 CH mode를 사용할 시 사용자가 설정한 intensity를 맞추기 위해 적정 값보다 높은 power가 인가될 수 있다고 설명했습니다. 2023.08.21 - [etc./반도체 공정] - Aligner 이해 (2) 작동 모드 Aligner 이해 (2) 작동 모드 지난 글에서 Aligner의 구조와 작동방식에 대해 설명했습니다. 이 글을 읽으시기 전에 참고하시면 좋을 것 같네요. 2023.08.17 - [etc./반도체 공정] - Aligner 이해 (1) 구조와 작동방식 Aligner..