- Lift off 과정Lift-off 공정은 다음과 같은 순서로 진행됩니다.포토공정을 통한 패터닝패터닝 된 substrate 위에 증착PR 제거 (lift-off) 저희는 증착까지 완료된 substrate를 아세톤 용액에 담가 PR을 날리는 방식을 lift-off를 진행했습니다. Lift-off 과정에서는 Negative PR을 사용하는 것이 좋은데요, 그 이유는 PR profile 때문입니다. 그러면 lift-off 방식으로 패터닝을 할 때 profile에 어떤 문제가 발생할 수 있는지 알아보겠습니다. - Lift off 이슈 아세톤으로 PR을 날리기 전 상황인데요, PR의 종류에 따라 포토공정 후 위와 같은 profile을 보입니다. Positive PR의 경우 PR 벽면에도 증착이 되어 실제 wa..