지난 글에서 노광 방식과 노광에 사용하는 자외선 파장에 대해 설명했는데요, 패턴의 정밀도가 높아질수록 짧은 파장의 빛을 사용한다고 했습니다. 그 이유에 대해 알아보겠습니다. - Resolution 포토공정에서 가장 중요한 것은 분해능(resolution)이라고 할 수 있습니다. Resoltion은 패터닝 시 구분할 수 있는 최소 패턴 크기라고 할 수 있는데요, 이는 다음과 같은 수식으로 표현할 수 있습니다. 공정계수는 PR의 특성 개선, 공정 최적화, 마스크 패턴 개선(OPC 등)을 통해 향상시킬 수 있습니다. 수식에서 알 수 있듯이 자외선 파장이 짧아질수록 Res값이 작아지고, 이는 더 작은 패턴도 구분할 수 있다는 것을 의미합니다.(정밀도 향상) - DOF 위의 그림에서 알 수 있듯이 광학계(렌즈)를..